뉴스포인트 이동재 기자 | 환경부는 한국수자원공사 및 한국환경산업기술원과 함께 반도체용 초순수 생산기술 국산화를 위한 첫걸음으로 ‘고순도 공업용수(초순수) 실증플랜트 착공식’을 11월 16일 오후 에스케이(SK)실트론 생산공장(경북 구미 소재)에서 개최했다.
이번 착공식을 시작으로 환경부 산하 공공기관과 관련 업계는 2025년까지 △초저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치, △ 초저농도 용존산소 제거용 탈기막, △고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 기술 등 고순도 공업용수 전반에 걸친 국산화 연구를 수행한다.
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