12인치 반도체 가늠터(테스트베드) 구축완료 및 공식 서비스 개시

국내 반도체 소부장 기업과 불화아르곤(ArF) 액침(Immersion)용 감광제,극자외선(EUV) 초박막 소재․부품 등 국산화 기술개발 본격 지원

[뉴스포인트 박솔 기자] 과학기술정보통신부가 국내최초로 나노종합기술원(원장 이조원)에 12인치 반도체 테스트베드(‘12인치 테스트베드’) 구축을 완료하고, 3월 17일부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식서비스를 본격 추진한다.

반도체 생산용 소재․부품은 2019년 7월 일본의 수출규제에 따라 우리나라에 소재․부품․장비 기술자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다.