국내 대표적 반도체소재부품 기업 티씨케이(대표 신히데오 김영희)가 디에스테크노와 벌여온 특허 무효 소송 및 심판에서 연이어 승소했다고 14일 밝혔다. 티씨케이는 반도체소재부품을 생산하고 있는 코스닥 등록업체로 반도체 에칭 공정에 사용되는 CVD SiC(탄화규소) 포커스링을 주력제품으로 제조·판매하고 있다.
기존에는 CVD SiC 반도체소재부품을 제조할 시, CVD 챔버의 온도나 압력과 같은 전통적인 증착 조건만을 고려해왔으나 티씨케이는 CVD 챔버에서 SiC 원료가스를 분사하는 여러 개의 노즐들을 순차적으로 사용하는 방식을 세계 최초로 도입, CVD SiC 포커스링의 내플라즈마성을 향상시키면서 효율적인 공정을 구현할 수 있게 됐다.
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